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液環式和干式螺桿真空泵都是利用容積式原理的泵，但有一些區別。液環泵使用液體來產生所需的真空，而干式真空泵則不然。

干式螺桿泵中的真空是通過兩個以相反方向旋轉的平行排列的螺桿轉子產生的。這些轉子捕獲通過入口進入的氣體，并將其輸送到氣體排放或壓力側。隨著氣體被壓縮，轉子之間沒有接觸。這消除了壓縮室需要任何工作流體或潤滑劑的需要，這就是命名為“干式”技術的原因。

但是，干式螺桿泵中的內部齒輪箱確實需要潤滑。隨著時間的推移，這種潤滑劑會在運行過程中找到進入泵室的途徑，并且在某種程度上使“干式”技術的說法變得虛假。

液環泵具有圓柱形外殼，部分填充有密封液，軸具有偏心放置在外殼內的多葉片葉輪。旋轉葉輪產生的離心力形成液環。正是這種力導致液環被迫抵靠泵室內部的壁。

由于葉輪在泵室中的偏心位置，其葉片進入深度不斷增加和減少。這有助于增加入口側的葉輪單元體積，從而形成真空。在排放側發生的情況是，葉片進一步移動到液體環中，導致壓力增加，從而導致通過排放口排放。

液環泵的固有設計允許使用各種液體作為密封劑，這可以是油、溶劑、水或與該過程兼容的任何其他液體。液體與需要壓縮的蒸汽或氣體保持接觸，因此，氣體的壓縮幾乎是等溫的。根據條件，排放溫度可以在 45 到 150 華氏度之間，并且在任何過程應用中通常保持受控。由于排放溫度在液環泵中受到控制，各種氣體都可以通過或冷凝，這提供了很大程度的靈活性。

螺桿真空泵可以采用等螺距設計，允許在壓縮的主要部分發生時以恒定排放量輸送氣體，或者可以采用漸進螺距設計，其中蒸汽或氣體在輸送過程中被壓縮到卸貨港。在這兩種情況下，壓縮都是絕熱的，沒有熱量離開或進入過程，排放溫度可高達 450 華氏度。使用該技術時的這些高溫導致了對安全性的擔憂。

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